薄膜作成の基礎 第4版 [単行本]
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薄膜作成の基礎 第4版 [単行本]

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出版社:日刊工業新聞
販売開始日: 2005/07/28
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薄膜作成の基礎 第4版 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより)

    第1章 薄膜技術
    第2章 真空の基礎
    第3章 真空ポンプと真空計測
    第4章 真空装置の実際
    第5章 薄膜の基礎
    第6章 薄膜作成法
    第7章 基板
    第8章 蒸着法
    第9章 スパッタ
    第10章 気相成長CVDと熱酸化窒化
    第11章 エッチング
    第12章 精密めっき
    第13章 平坦化技術
  • 著者紹介(「BOOK著者紹介情報」より)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

    麻蒔 立男(アサマキ タツオ)
    昭和9年愛知県に生まれる。昭和32年静岡大学工学部電子工学科卒業。日本電気株式会社に入社。昭和42年日電バリアン(現、アネルバ)株式会社設立と同時に出向。昭和49年工学博士。昭和51年―昭和52年日本真空協会理事、研究部会長。昭和61年日電アネルバ(株)取締役研究開発本部長兼第一技術本部長。平成元年日本真空協会個人理事。平成2年東京理科大学工学部教授。東京理科大学工学部教授。日本真空協会評議員

薄膜作成の基礎 第4版 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名:日刊工業新聞社
著者名:麻蒔 立男(著)
発行年月日:2005/07/25
ISBN-10:4526055034
ISBN-13:9784526055034
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:電気
ページ数:352ページ
縦:21cm
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