マイクロ加工の物理と応用(応用物理学選書) [単行本]
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出版社:裳華房
販売開始日: 1998/03/28
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マイクロ加工の物理と応用(応用物理学選書) [単行本] の 商品概要

  • 要旨(「BOOK」データベースより)

    本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
  • 目次

    1.マイクロ加工の意義
     1.1 マイクロ加工に求められるもの
     1.2 マイクロ加工の手段
     1.3 マイクロ加工の歴史

    2.光・電子・イオン
     2.1 粒子の概念
     2.2 希薄気体の力学
     2.3 プラズマ
     参考書

    3,粒子と固体との相互作用
     3.1 加工表面
     3.2 ガス‐固体表面相互作用
     3.3 電子‐固体相互作用
     3.4 イオン‐固体相互作用
     3.5 光子‐固体相互作用
     参考文献
     参考書

    4.加工現象
     4.1 エネルギービームによる試料の温度上昇
     4.2 光子,電子,イオンによるレジスト露光
     4.3 プラズマシース
     4.4 化学・電界・破壊加工エネルギー
     4.5 シミュレーション
     参考文献
     参考書

    5.加工装置
     5.1 電子・イオンビーム加工
     5.2 プラズマ加工
     5.3 フォトン加工
     5.4 プローブ加工
     参考文献
     参考書

    6.マイクロマシニング
     6.1 マイクロ成形加工(LIGA)
     6.2 走査型プローブ顕微鏡によるナノ加工
     6.3 表面微細形状制御技術
     6.4 超微粒子生成技術
     6.5 表面活性化接合技術
     参考文献
     参考書
  • 内容紹介

     マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。
     本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
  • 著者について

    吉田 善一 (ヨシダ ヨシカズ)
    東洋大学教授、工学博士。1957年 兵庫県に生まれる。神戸工業高等専門学校中退、茨城大学工学部卒業。松下電器産業株式会社生産技術研究所・中央研究所、山梨大学助教授などを経て現職。

マイクロ加工の物理と応用(応用物理学選書) [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名:裳華房
著者名:吉田 善一(著)/金原 寿郎(編)/高橋 秀俊(編)/霜田 光一(編)/和田 八三久(編)/近角 聡信(編)/菊池 誠(編)
発行年月日:1998/03/25
ISBN-10:4785325089
ISBN-13:9784785325084
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:物理学
言語:日本語
ページ数:234ページ
縦:22cm
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