プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー [単行本]
    • プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー [単行本]

    • ¥6,160185ポイント(3%還元)
    • お取り寄せ
100000009002709143

プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー [単行本]

価格:¥6,160(税込)
ポイント:185ポイント(3%還元)(¥185相当)
お届け日:お取り寄せこの商品は、日時を指定できません。届け先変更]詳しくはこちら
出版社:森北出版
販売開始日: 2017/01/27
お取り扱い: のお取り扱い商品です。
ご確認事項:返品不可
店舗受け取りが可能です
NEWマルチメディアAkibaマルチメディア梅田マルチメディア博多にて24時間営業時間外でもお受け取りいただけるようになりました

プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー の 商品概要

  • 要旨(「BOOK」データベースより)

    最先端のプラズマ応用技術を解説!基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。
  • 目次(「BOOK」データベースより)

    第1章 プラズマ技術の基礎
    第2章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
    第3章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
    第4章 ナノエッチング技術
    第5章 ナノ材料の基板成長と構造制御
    第6章 ナノ粒子の気相合成
    第7章 計測技術とプロセス解析
  • 出版社からのコメント

    ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に,プラズマプロセス技術を基礎から応用まで解説.最先端の技術的指針を与える.
  • 内容紹介

    半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について,基礎から応用まで解説する.超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜,カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など,とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に,最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている.

プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー の商品スペック

商品仕様
出版社名:森北出版
著者名:プラズマ・核融合学会(編)
発行年月日:2017/01/27
ISBN-10:462777561X
ISBN-13:9784627775619
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:電子通信
言語:日本語
ページ数:273ページ
縦:22cm
他の森北出版の書籍を探す

    森北出版 プラズマプロセス技術―ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー [単行本] に関するレビューとQ&A

    商品に関するご意見やご感想、購入者への質問をお待ちしています!