X線反射率法入門 新版 [単行本]
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出版社:講談社
販売開始日: 2018/06/19
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X線反射率法入門 新版 [単行本] の 商品概要

  • 目次

    1 X線反射率の基礎
    1.1 光とX線
    1.2 X線反射率法の特徴
    1.3 膜密度はどのように決まるか
    1.4 膜厚はどのように決まるか
    1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
    1.6 いろいろな反射率計算法
    1.7 結晶からの反射率
    1.8 共鳴磁気反射率
    1.9 コヒーレンスとコヒーレント回折
    1.10 実際の測定とデータ解析の基礎
    2 X線反射率の測定装置と測定方法
    2.1 X線反射率測定装置に必要な条件
    2.2 X線反射率測定装置の実際
    2.3 反射率の測定方法
    2.4 散漫散乱測定
    2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
    3 X線反射率のデータ解析法
    3.1 はじめに
    3.2 X線反射率のデータ解析の前に
    3.3 最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
    3.4 単層膜の解析と精度の評価
    3.5 多層膜の解析と精度の評価
    3.6 多波長X線反射率法
    3.7 2波長法による多層膜構造解析
    3.8 3波長法による多層膜構造解析
    3.9 反射率解析の今後
    3.10 まとめ
    4 X線反射率のデータ解析の注意事項
    4.1 はじめに
    4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
    4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
    4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題
    4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み
    4.6 おわりに
    5 微小領域分析およびイメージングへの展開
    5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
    5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析
    5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析
    5.4 画像再構成法によるイメージング
    5.5 微小領域分析・イメージングの今後
    6 時々刻々変化する系の追跡への展開
    6.1 はじめに
    6.2 多チャンネルX線反射率法(Naudonの方法)
    6.3 白色X線反射スペクトル法
    6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測
    6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
    7 X線反射率法の応用
    7.1 半導体薄膜
    7.2 ハードディスク
    7.3 X線光学用多層膜
    7.4 電気化学界面などの固液界面
    7.5 有機・高分子薄膜
    7.6 液体の表面,界面,単分子膜
    8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
    8.1 微小角入射蛍光X線分析法
    8.2 微小角入射X線回折法
    8.3 共鳴軟X線スペクトル法
    8.4 GISAXS法
    8.5 X線光子相関分光法
    9 中性子の利用
    9.1 はじめに
    9.2 中性子反射光学の基礎
    9.3 中性子反射率法の特徴
    9.4 中性子反射率法の適用例
    9.5 X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
    おわりに X線反射率の100年
    付録1 C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
    付録2 Pythonによる反射率計算プログラム
  • 内容紹介

    日本初のX線反射率法に関する専門書が9年ぶりの増補改訂。原理、実験方法、データ解析法、多彩な材料への応用事例を網羅。なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの視点からていねいに解説。この1冊で機能薄膜の構造解析が自由自在に。


    【本書の特徴】
    ・表面・界面におけるX線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明した。
    ・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説した。
    ・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説した。
    ・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介し、中性子の利用についても取り上げた。
  • 著者紹介(「BOOK著者紹介情報」より)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

    桜井 健次(サクライ ケンジ)
    工学博士。1988年東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。現在、国立研究開発法人物質・材料研究機構先端材料解析研究拠点上席研究員。筑波大学大学院教授を兼務
  • 著者について

    桜井 健次 (サクライ ケンジ)
    物質・材料研究機構 先端材料解析研究拠点 上席研究員

X線反射率法入門 新版 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名:講談社
著者名:桜井 健次(編著)
発行年月日:2018/06/29
ISBN-10:4061532960
ISBN-13:9784061532960
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:物理学
言語:日本語
ページ数:369ページ
縦:21cm
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